EUV空白掩膜, 要有新选择
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三星的目标是年内在韩国国内采购EUV空白掩模版。
掩膜版是半导体光刻工艺中的关键部件,它是一种高精度的石英或玻璃板,上面刻有用于制造集成电路(IC)的微型图案。通过光刻工艺,掩膜版上的图案被转移到硅晶圆上,从而形成半导体器件的微观结构。
据报道,韩国掩模制造商S&S Tech的极紫外(EUV)空白掩模已接近获得三星批准使用的最后阶段。
三星的目标是年内在韩国国内采购EUV空白掩模版。消息人士称,该公司正在实际工艺环境中使用S&S Tech的EUV空白掩模版样品,并检查其中是否存在缺陷。
最终的质量评估预计将于下半年进行。
如果S&S Tech的空白掩模版获得批准,这将是韩国公司第二次成功实现EUV所用材料的商业化生产。第一家是成功生产EUV所用光刻胶(PR)的东进世美肯(Dongjin Semichem)。
消息人士称,三星半导体光刻团队的目标是通过增加S&S Tech作为供应商来减少对日本豪雅(Hoya)的依赖,确保稳定的供应并降低成本。
三星目前使用的EUV空白掩模版大多从这家日本公司采购。然而,由于日本地震等各种因素,这家韩国科技巨头多次难以及时采购掩模版。为了缓解这些担忧,豪雅在新加坡建了一家工厂。
据悉,S&S Tech于2024年12月向日本Lasertec公司订购了EUV掩模检测设备,每台售价417亿韩元。然而,Lasertec公司订单积压。三星随后介入,要求Lasertec公司接手S&S Tech的订单。预计该设备将于10月运抵S&S Tech位于龙仁的新工厂。
EUV空白掩模版每片成本高达数万美元。三星认为,在国内采购部分EUV掩模版将节省数千万美元,并缩短交货时间。
随着半导体工艺的不断微缩,对掩膜版的精度和质量要求越来越高。未来,先进制程技术和新型半导体材料将成为竞争的关键。EUV技术将在先进制程中得到广泛应用,对高精度EUV掩膜版的需求将大幅增长。
全球半导体掩膜版市场竞争格局高度集中,主要被日本、美国等国家的企业所控制。在半导体掩膜版领域,美国Photronics、日本Toppan和日本DNP等公司占据主要市场份额。这些国际巨头凭借其先进的技术、丰富的经验和完善的产业链布局,在全球市场上具有较强的竞争力。它们不仅在高端掩膜版市场占据主导地位,还通过技术封锁和市场垄断等手段,限制了国内企业的发展。
据悉,三星还在加大力度将其他高度依赖日本的材料本地化。对于目前由日本三井化学主导的EUV薄膜,三星正在与韩国FST合作实现本地化。此外,对于高带宽存储器(HBM)的关键材料非导电膜(NCF),三星正在与LG Chem合作。目前,NCF材料100%由日本Resonac供应给三星。
三星材料供应链的多样化主要是为了应对人工智能(AI)革命引发的半导体需求激增。这种需求需要多样化目前由一两家公司垄断的工艺材料。该战略还考虑到与美国和日本等地日益激烈的半导体主导地位竞争。
日本则在培育Rapidus等新芯片制造公司,以增强国内半导体产业。如果日本再次对半导体材料实施类似于2019年的出口限制,韩国国内半导体生产线可能会面临严重中断。
今年3月,三星宣布在未来10年向关键制造领域总计投资60.1万亿韩元(约为3161.26亿元人民币),用于区域均衡发展,重点关注三星电子、三星显示、三星SDI、三星电机等三星关联公司业务基地,特别是针对每个地区指定和投资专业业务,例如半导体封装、最先进的显示器、下一代电池、智能手机、电子零部件和材料,以帮助每个地区实现全球竞争力在各自的领域。
根据计划,三星电子计划加强其天安/温阳工厂的下一代研发能力,并扩大设备投资以增加产量,以增强其在半导体封装领域的竞争力。特别是下一代半导体封装技术的挑战非常大,与晶圆代工、材料、设备领域的合作伙伴公司的密切合作非常重要,预计这将提高整个国内半导体的竞争力未来的生态系统。
三星电机计划扩大其在世宗的生产基地,以加强电子电路封装基板行业的全球竞争力,并最大限度地提高产品附加值。
三星SDI计划将龟尾培育成QD等半导体/显示器用高科技材料的专业生产基地。三星SDI决定追加投资,以加强电视、半导体、智能手机和显示器生产中使用的电子材料的竞争力,并将业务扩展到包括下一代能源的高科技材料在内的各个领域。
除了投资,三星还计划通过资金、技术和人力资源三个维度支持和培育当地企业,实施公司与当地经济共同发展的"可持续双赢模式"。三星计划扩大与国内合作伙伴的联合研发,以加强半导体设备和材料的竞争力并扩大本地化(未来10年5000亿韩元), 并扩大MPW对中小型无晶圆厂公司的支持(未来10年5000亿韩元) )计划支持国内半导体生态系统的振兴。此外,三星计划吸引全球领先的材料、零部件和设备公司的投资进入韩国半导体集群。
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*ST创兴董事会遭遇反对票,担保议案引发质疑*ST创兴(600193)发布公告,公司第九届董事会第24次会议于2025年9月7日召开。会议审议了两个议案,其中《关于关联方为联盈建筑借款事项提供担保及公司与联盈建筑提供反担保的议案》表决结果为赞成4票,反对1票,弃权0票,回避0票